有些真空工艺会产生大量的灰尘，如果灰尘随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和破坏，堵塞油路或使泵无法运行，如果灰尘进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘埃的防止和过滤己成为延长真空系统的使用寿命，提高生产率的关键问题，在有尘埃的真空系统中，必须采用尘埃过滤器。

在灰尘量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但灰尘量较大时，为防止真空泵的损坏，保证真空泵的正常运转必须使用除尘器。