真空泵在工业部门中应用相当广泛，如灯泡制造、电子管、食品包装、半导体器件的制造。真空蒸馏、真空浸渍、离子氮化、真空干燥、真空渗碳，真空淬火、真空浇铸等。在真空条件下由于气体分子数较少，可以避免气体产生的有害作用。如在真空中热处理可以避免氧化和气体渗入金相组织，从而提高零件质量;在电子器件中保持高真空可以避免电子运动受到影响；在真空包装中保持高真空可以提高食品保质期。在现代尖端科学技术中，真空技术更是不可缺少的手段，如高能加速器、受控热核反应，宇宙模拟等工程都需要高真空或超高真空技术。

真空泵的种类很多，有机械真空泵(如往复式真空泵、油封式机械真空泵、罗茨真空泵、涡轮分子泵、水环式真空泵等)，喷射真空泵(如水蒸汽喷射泵、水喷射泵、大气喷射泵、油增压泵、油扩散泵等)，还有物理化学吸附泵(如钛泵、分子筛吸附泵、低温泵等).在机械工业部门中主要采用机械真空泵，其他类型的泵则较少采用。